Оборудование

Страна изготовитель - Япония

Производитель - Shimadzu corporation

Марка - Shimadzu DSC-60

Год - 2007

Назначение:

• Оценка свойств и контроля качества материалов,
• Определение теплоты фазового перехода образца

Основные характеристики:

Область применения в наноиндустрии:

• Нанобиотехнологии
• Химия и химические технологии
• Анализаторы

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Bruker

Марка - Bruker ADVANCE 400 МГц

Год - 2007

Назначение:

• Проведение качественного и количественного анализа индивидуальных соединений и многокомпонентных систем, исследования химического строения органических молекул и их комплексов, молекулярной структуры, характера химических связей, межмолекулярных взаимодействий и различных форм внутреннего движения.
• Определение трехмерного стереохимического строения молекул и конформационный анализ.
• Исследование динамики молекул, межмолекулярного взаимодействия, механизмов химических реакций. Исследование динамических процессов (химический обмен).
• Установление структуры новых синтезированных веществ и индивидуальных соединений природного происхождения;
• Количественное определение микропримесей в образце;

Возможности:

• исследования ядер ¹H, ¹¹B, ¹³C, ¹⁵N, ¹⁹F, ²⁹Si, ³¹P, ³³S, ⁷⁷Se в широком температурном диапазоне от -100 0С до 200 0С, включая двумерную спектроскопию и инверсные методики.
• Кинетические исследования;
• Конформационные исследования полимеров,
• Установление их степени сополимеризации;
• Исследование нефтей и различных нефтяных концентратов.

Основные характеристики:

• импульсный режим с преобразованием Фурье,
• сверхпроводящая магнитная система, активноэкранированная, с конфигурацией дьюара для длительного удержания гелия (не менее 360 дней),
• оборудованная системой подавления вибрации (от 3 Гц).
• ЯМР 1Н (400 МГц) и 13С (150.86 МГц).

Область применения:

• Нанобиотехнологии;
• Химия и Химические технологии.

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Bruker

Марка - Bruker D8 ADVANCE

Год - 2007

Назначение:

• Проведение качественного и количественного анализа кристаллических фаз,
• Установление кристаллической структуры неорганических, органических, элементоорганических и металлокомплексных соединений в поликристаллической форме, состава поликристаллических материалов, степени кристалличности полимеров,
• Анализ веществ в порошковом виде.

Возможные исследования:

• исследования состава ЭОС,
• исследования физико-химических характеристик ЭОС и материалов на их основе.

Методы исследования:

• Метод съёмки:
• Брэгг-Брентано или параллельно-лучевая оптика с использованием зеркала Гёбеля.

Основные характеристики:

• Широкоугловой гониометр с возможностью измерения в геометрии Theta-Theta; Диапазон углов регистрации в градусах от -110 до 168 по 2Theta;
• Диаметр гониометра 430 мм с наличием нескольких измерительных диаметров; Шаг измерений по осям Theta и 2Theta 0.00001 градуса.
• Генератор мощностью 3кВт с возможностью регулирования напряжения от 20 до 50 кВ (с шагом 1кВ) и тока от 5 до 120 мA (с шагом 1мА).
• Возможность использования керамических и стеклянных рентгеновских трубок европейского стандарта.
• Рентгеновские трубки с материалом зеркала анода: Fe (0.194нм), Cu (0.154нм), Mo (0.71нм).
• Монохроматоры, специализированные для излучений каждой трубки.
• Возможность проводить исследования образцов в интервале температур от –190оС до +450оС;
• Режим съемки пошаговый или непрерывный.
• Комплектация включает сверхскоростной позиционно-чувствительный детектор VANTEC-1.
• Пакет программ позволяет с высокой точностью определять атомные структуры объектов неорганического, органического, металлоорганического и биоорганического происхождения.

Область применения:

• Нанобиотехнологии;
• Химия и химические технологии.
  

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Bruker

Марка - Bruker Vertex 70

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: ИК - КР спектрометр

Назначение:

• Проведение качественного и количественного анализа твердых, жидких и газообразных образцов,
• Контроль качества продукции по ИК и КР спектрам.

Методы исследования:

• Инфракрасная спектроскопия,
• Спектроскопия комбинационного рассеяния.

Основные характеристики:

• Спектральный диапазон: 7500 ~ 200 см -1,
• Разрешение: от 0,4 см -1,
• Погрешность установки длины волны: ± 0,01 см -1,
• Фотометрическая точность: ± 0,01% T,
• Отношение сигнал/шум: > 7000:1

Область применения:

• Нанобиотехнологии;
• Нанотехнологии для систем безопасности;
• Химия и химические технологии.

Страна изготовитель - Япония

Производитель - Shimadzu corporation

Марка - ICPE-9000

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Атомно-эмиссионный спектрометр с индуктивно связанной плазмой.

Назначение:

• Анализ пробы неизвестного качественного и количественного состава,
• Определение качественного и количественного элементного состава твёрдых и жидких образцов, порошков, гранул, пластин, плёнок.

Возможные исследований:

• Диапазон определяемых элементов от Na до U с пределом обнаружения на уровне 10-9 % вес.
• Определение состава элементов в природных объектах, биологических образцах,
• Количественный анализ неизвестных материалов, тонких пленок и органических веществ.

Методы исследований:

• Метод фундаментальных параметров

Основные характеристики:

• Первый в мире вакуумируемый ICP-спектрометр с CCD-детектором с оптической схемой Эшелле-спектрометра.
• Надежный анализ пробы неизвестного качественного и количественного состава.
• Единственный в мире ICP-спектрометр, обеспечивающий качественный и прецизионный количественный анализ без предварительного задания аналитических линий. Требуется только перечень определяемых элементов.
• Чувствительность и диапазон линейности
• ICPE-9000 обеспечивает определение большинства элементов на уровне 1-10 ppb и ниже при диапазоне линейности 5-6 порядков.
• Термостатируемый, вакуумируемый спектрометр.
• Температура спектрометра поддерживается с точностью ± 0,10 С. Давление внутри спектрометра не более 10 Па. Все это обеспечивает высочайшую стабильность даже при длительных измерениях.
• Вертикально расположенная мини-горелка и аксиальное наблюдение плазмы обеспечивают максимальную чувствительность. Возможно опционное использование вертикальной горелки с радиальным наблюдением плазмы.
• Низкошумящий, высокочувствительный CCD-детектор (1024 х 1024 пикселя) обеспечивает высокое спектральное разрешение и высокую светосилу. Детектор работает при сравнительно высокой температуре (минус 150С), что сокращает время начальной инициализации.
• Благодаря программному обеспечению, ICPE-9000 позволяет надежно анализировать даже пробы с большим количеством определяемых и влияющих элементов, для анализа которых обычно используют спектрометры последовательного действия с высоким спектральным разрешением.

Программное обеспечение ICPEsolution обеспечивает:

• быстрый и надежный качественный анализ с помощью встроенной базы данных длин волн и спектральных влияний для всех элементов с автоматическим выбором длин волн, наименее подверженных спектральным влияниям
• определение всех сопутствующих элементов и автоматическую коррекцию влияний
• оценку концентрационных диапазонов определяемых и сопутствующих элементов, автоматический выбор способов коррекции
• выдачу состава образца для калибровки
• автоматический выбор одного, наиболее оптимального результата анализа среди данных, полученных при измерениях на разных длинах волн
• диагностику природы влияний
• внесение поправок в результаты уже после измерений
• количественный анализ: надежное определение даже трудноопределяемых элементов в пробах со сложной основой.

Технические характеристики

Область применения:

• Нанотехнологии для систем безопасности
• Химия и химические технологии

Страна изготовитель - Япония

Производитель - Shimadzu corporation

Марка - EDX-800HS

Год - 2008

Назначение:

• Определение качественного и количественного элементного состава твёрдых и жидких образцов, порошков, гранул, пластин, плёнок.

Методы исследований:

• Метод фоновых фундаментальных параметров

Основные характеристики:

• Диапазон определяемых элементов от С до U с пределом обнаружения на уровне 10-9 % вес.
• Большая кюветная камера предназначена для анализа образцов диаметром до 300 мм и высотой до 150 мм.
• Программное обеспечение позволяет определять толщину и элементный состав тонких плёнок и покрытий.
• Метод фоновых фундаментальных параметров позволяет анализировать плёнки органической природы.
• Пять типов первичных фильтров минимизируют влияние фона, что увеличивает соотношение сигнал/шум и значительно улучшает пределы обнаружения элементов в образцах различной природы.
• Программа сопоставления состава использует библиотеки данных и исключает необходимость наличия стандартных образцов для количественного анализа.

Область применения:

• Нанобиотехнологии;
• Нанотехнологии для систем безопасности,
• Химия и химические технологии.

Страна изготовитель - США

Производитель - Applied Biosystems

Марка - 3130 XL

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Генетический анализатор (секвенатор) ДНК

Назначение:

• расшифровка последовательности ДНК любых организмов.

Возможные исследования:

• автоматизацию секвенирования ДНК и возможность работы 24 часа без оператора

Основные характеристики:

• Выполняется анализ 16 образцов ДНК одновременно.
• Капилляры с внутренним покрытием, длиной 36, 50 и 80 см.
• В качестве разделительных матриц используются полимеры POP-4 и POP-7.
• Лазер: аргонно-ионный многолучевой, с возбуждением 488 и 514.5 нм.
• Напряжение при электрофорезе До 20 kV.
• Рабочая область температур от 180С до 650С.
• Потребляемый ток - 15А,
• Мощность - 2 кВт.

Область применения:

• Молекулярная биология;
• Нанобиотехнологии;
• Нанотехнологии для систем безопасности.

Страна изготовитель - США

Производитель - Agilent

Марка - Agilent 7890А

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Газовый хроматограф

Назначение:

• Качественный и количественный анализ многокомпонентных смесей органических и элементорганических соединений

Область применения в наноиндустрии:

• Нанобиотехнологии;
• Нанотехнологии для систем безопасности,
• Химические технологии.

Страна изготовитель - Япония

Производитель - Shimadzu corporation

Марка - LC-20AD

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: Жидкостный хроматограф - МСД

Назначение:

• разделение, анализ и идентификация органических соединений различных классов (синтезированные, выделенные из природных объектов).

Основные характеристики:

• тип градиента: высокого давления,
• диапазон скорости потока элюента: 0,0001-10 мл/мин,
• тип насоса: параллельный двойной плунжерный,
• количество смешиваемых растворителей: 2,
• объем пробы: от 0,1мкл до 100 мкл,
• тип детектора: спектрофотометрический,
• диапазон длин волн: 190 нм - 700 нм.

Область применения:

• Нанобиотехнологии;
• Нанотехнологии для систем безопасности.

Страна изготовитель - США

Производитель - Abbot

Марка - Cell Dyn 3700

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Гематологический анализатор

Назначение:

• Анализ крови человека и животных (мышей, крыс, кроликов, кошек, собак) по множеству параметров,

Возможные исследования:

• исследования венозной, каппилярной крови и ликвора,
• одновременное определение абсолютного количества эритроцитов, лейкоцитов, абсолютное и относительное количество нейтрофилов, лимфоцитов, моноцитов, эозинофилов, базофилов, содержание гемоглобина, гематокрит, средний клеточный объем и другие показатели.

Основные характеристики:

• Производительность – образцов в час – 90
• Объем пробы в открытом режиме – микролитры – 120
• Объем пробы в закрытом режиме - микролтиры - 210

Область применения:

• Нанобиотехнологии;
• Нанотехнологии для систем безопасности.

Страна изготовитель - США

Производитель - Agilent

Марка - Agilent 2100

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Биоанализатор для анализа нуклеиновых кислот и белков.

Назначение:

• Усовершенствованный анализ нуклеиновых кислот, белков, и клеток с возможностью одновременного анализа множества образцов за короткий промежуток времени,
• Анализ продуктов рестрикции ДНК, продуктов ПЦР, качества и количества РНК.

Возможные исследования:

• Малое потребление образца,
• Минимальные затраты на пробоподготовку,
• Точный качественный и количественный анализ образцов,
• Получение информации о концентрации (нг/мкл) длине/массе фрагмента.

Основные характеристики:

• Количество одновременно анализируемых проб – шт – 12
• Время анализа –– 10-30 мин.

Область применения:

• Генетика;
• Нанобиотехнологии;
• Нанотехнологии для систем безопасности.

Страна изготовитель - США

Производитель - ISS

Марка - ISS PC-1

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: Поляризационный спектрофлуориметр

Назначение:

• измерения анизотропии, спектров поляризации и синхронной люминесценции при кинетических исследованиях с миллисекундным разрешением

Область применения:

• Нанобиотехнологии;
• Химические технологии.

Страна изготовитель - США

Производитель - Бектон Дикинсон

Марка - BD FACSCalibu

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Проточный цитофлуориметр

Назначение:

• Анализ и сортировки популяций и субпопуляций клеток крови человека и экспериментальных животных,

Возможные исследования:

• Для изучения клеточного цикла, динамики клеточных процессов,
• Иммунофенотипирование с использованием нескольких красителей,
• Возможности анализа минорных популяций,
• анализ стволовых клеток,
• ДНК-анализ,
• Изучение функций клеток иммунной системы,
• Проведение исследований в области генетики и протеомики.
• Многопараметровая система для решения задач современных клинических и научных лабораторий.

Основные характеристики:

• Обеспечивает регистрацию до 6 оптических параметров, включая параметры светорассеяния и 4 параметра флуоресценции,что позволяет использовать многоцветные реагенты и оценивать распределение нескольких клеточных маркеров в одной пробе.
• Конструкция прибора предусматривает возможность установки 1-го или 2-х лазеров с длинами волн 488 нм и 635 нм.
• Луч лазера 635 нм пространственно отделен от луча аргонового лазера 488 нм, что обеспечивает качественное разделение сигналов без введения параметров цветовой компенсации.
• Автоматическая система калибровки и настройки для быстрой и точной подготовки прибора к исследованиям.
• Стандартизация условий измерения гарантирует стабильность и объективность результатов.
• Специализированная клиническая программа BD MultiSet , позволяющая автоматизировать проведение иммунофенотипирования с использованием трех – и четырехцветных реагентов, создавать индивидуальные панели для автоматического анализа.
• Автоматически проводится оценка достоверности полученных результатов, индентификация ошибок (внутренний контроль качества).
• Универсальное программное обеспечение BD CellQuest Pro
• Дополнительные программы: CBA для количественного определения растворимых форм цитокинов в одном образце, ModFIT для анализа клеточного цикла, пролиферации, поиска анеуплоидных популяций.

Область применения:

• Нанобиотехнологии;
• Нанотехнологии для систем безопасности.

Страна изготовитель - Россия

Производитель - NT-MDT

Марка - IntegraTOMO

Год - 2007

Методы исследования:

На воздухе:

• Сканирующая туннельная микроскопия (СТМ)
• Сканирующая туннельная спектроскопия (СТС)
• Атомно-силовая микроскопия (АСМ) (контактная + «полуконтактная» + бесконтактная)
• Латерально - Силовая Микроскопия (ЛСМ)
• Отображение Фазы
• Модуляция Силы
• Отображение Сопротивления Растекания
• Магнитно-Силовая микроскопия (МСМ)
• Электростатическая Силовая Микроскопия (ЭСМ)
• Сканирующая Емкостная Микроскопия (СЕМ)
• Метод Зонда Кельвина (МЗК)
• Отображение Сил Адгезии
• АСМ Силовая Литография (наногравировка + наночеканка)
• АСМ Токовая Литография (анодное оксидирование)
• СТМ Литография
• Акустическая АСМ (АСАМ)
• Силовая Микроскопия Пьезоотклика

В жидкости:

• АСМ (контактная+«полуконтактная»)
• ЛСМ
• Отображение Фазы
• Модуляция Силы
• Микроскопия Сил Адгезии
• АСМ Литография

Области применения:

• Биология и Биотехнология (протеины, ДНК, вирусы, бактерии, эукариоты, ткани)
• Материаловедение (морфология поверхности, локальные механические, пьезоэлектрические, адгезионные и трибологические характеристики)
• Магнитные Материалы (доменные структуры, магнитные частицы, магнитные пленки и многослойные структуры, устройства спинтроники, зависимость магнитных свойств от внешнего магнитного поля)
• Полупроводники (морфология подложек, распределение примесей, гетерограницы и границы p-n переходов, межфазные границы, качество и толщины функциональных слоев)
• Полимеры и тонкие органические пленки (сферулиты и дендриты, полимерные монокристаллы, блок-сополимеры, политмерные наночастицы, ЛБ-пленки, тонкие пленки)
• Запоминающие среды и устройства (CD, DVD диски, накопителя терабитных ЗУ с термомеханической, электрической, емкостной и др. типами записи)
• Наноматериалы (нанопорошки, нанокомпозиты, нанопористые материалы)
• Наноструктуры (фуллерены, нанотрубки, нанокапсулы)
• Наноэлектроника (квантовые точки)

Изображение структуры
поверхности оксида алюминия


Изображение структуры
поверхности мембраны Al₂O₃.

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Carl Zeiss MicroImaging GmbH

Марка - LSM 510 Meta

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Конфокальный микроскоп

Назначение:

• Проведение исследований на клетках эукариот и прокариот методом лазерной сканирующей конфокальной микроскопии с трехмерным пространственным, временным и спектральным разрешением;
• Морфологические исследования при работе с фиксированными и живыми объектами.

Возможные исследования:

• Создание трехмерного (или четырехмерного с учетом временной координаты) изображение образца с элементами объемной реконструкции, анимации и количественного анализа
• Сканирование методом мультитрекинга, которая позволяет в случае незначительного перекрывания эмиссионных спектров флуоресцентных красителей, последовательно использовать несколько лазерных линий и соответствующих детекционых каналов для получения чистого, разделенного на отдельные компоненты, мультифлуоресцентного изображения
• Использование вместе с обычным сканированием других технологий (FRAP, FRET с количественной оценкой) для исследования определенного произвольно выбранного участка исследуемого образца (ROI функция) любой геометрической формы благодаря системе AOTF (акустооптический плавнорегулируемый фильтр), которая позволяет мгновенно с шагом в 0,1% изменять интенсивность каждой лазерной линии от 0 до 100%
• Микроскоп позволяет получить качественное информативное изображение фиксированных объектов, окрашенных флуоресцентными красителями, восстановить трехмерную структуру объекта по сериям конфокальных оптических срезов.
• Применяется для спектрального анализа. Кроме того, позволяет наблюдать и документировать динамические процессы в живых системах.

Методы исследования:

• Конфокальная микроскопия,
• FRET,
• FRAP,
• дифференциально-интерференционный контраст (ДИК),
• обычную люминесценция (365/397 нм; 450-490/515-565 нм; 546/575-640 нм).

Основные характеристики:

• Установка работает на базе инвертированного микроскопа AxioObserver Z1 (CarlZeiss),
• Meta-блок,
• Лазерный модуль
• аргоновый лазер 30 мВт (458, 477, 488, 514, 514 нм)
• гелий-неоновый лазер 5 мВт (633 нм)
• гелий-неоновый лазер 1 мВт (543 нм)
• диодный лазер 30 мВт (405 нм)
• Сканирующий модуль
• скорость сканирования до 5 frames/sec (512 x 512 pixels)
• формат кадра Max 2048 x 2048 pixels

Область применения:

• Нанобиотехнология,
• Биология.

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Carl Zeiss

Марка - LSM 510 DUO

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Конфокальный микроскоп

Модуль LSM 510 META.

Многофункциональный лазерный сканирующий микроскоп для исследовательских задач, и работы с живыми биологическими объектами.

LSM 5 LIVE DuoScan.

Уникальный ультрабыстрый лазерный сканирующий микроскоп с индивидуальным лазерным манипулятором (DuoScan) для регистрации быстродействующих процессов в режиме «живого» конфокального изображения.

Лазеры с предустановленными, заранее отъюстированными световодами (Pigtail-coupled)

• Диодный лазер (405 нм, CW/pulsed) 30 мВт
• Диодный лазер (440 нм, CW+pulsed) 25 мВт
• Ar-лазер (458, 488, 514 нм) 25 или 35 мВт
• HeNe-лазер (543 нм) 1 мВт
• HeNe-лазер (594 нм) 2 мВт
• HeNe-лазер (633 нм) 5 мВт
• Диодный лазер (488 нм) 100 мВт
• Диодный лазер (635 нм) 35 мВт
• Фемтосекундный лазер Coherent Chameleon, Диапазон перестойки 690-1040 нм, 3 Вт

Области применения

• Биология
• Вирусология
• Медицина
• Материаловедение
• Криминалистика
• Морфологические исследования при работе с фиксированными и живыми объектами

Микроскоп позволяет получить качественное информативное изображение фиксированных объектов, окрашенных флуоресцентными красителями.
Восстановить трехмерную структуру объекта по сериям конфокальных оптических срезов.
Позволяет наблюдать и документировать динамические процессы в живых системах.

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Carl Zeiss

Марка - Carl Zeiss Ultra 55+

Год - 2009

Сокращенное наименование единицы оборудования: СЭМ

Основные характеристики

Детекторы и приставки:

• EsB с сеточным фильтром
• AsB
• In-lens SE
• SE – детектор
• Энергодисперсионный детектор Oxford Instruments X-MAX 80
• STEM – детектор
• Детектор обратно рассеянных электронов (EBSD) HKL Channel 5 на базе камеры Nordlys II

Методы исследования:

• Растровая электронная микроскопия сверхвысокого разрешения
• Просвечивающая растровая электронная микроскопия
• Низкие ускоряющие напряжения (до 100В)
• Энергодисперсионный рентгеновский микроанализ
• Исследование непроводящих материалов используя систему компенсации заряда
• Фильтрация электронов по энергии

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Carl Zeiss

Марка - Carl Zeiss EVO 60

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: СЭМ

Основные характеристики

Детекторы и приставки:

• SE детектор
• BSE детектор
• Рентгеновский энергодисперсионный микроанализ (EDX) – Oxford Instruments Energy 350
• Рентгеновский волновой микроанализ (WDX) – Oxford Instruments Wave 500
• Столики для образцов с возможностью нагрева до +500º С и охлаждения до -170ºС

Методы исследования:

• Растровая электронная микроскопия
• Энергодисперсионный рентгеновский микроанализ
• Рентгеновский микроанализ с дисперсией по длине волны
• Исследования структуры и состава при низком вакууме 10-750 Па (XVP)
• Исследование динамики структуры и состава при нагреве и охлаждении
• Исследования структуры и состава в среде водяного пара и естественных условиях 750-3000Па (EP)
• Исследования непроводящих материалов

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Carl Zeiss

Марка - Carl Zeiss CrossBeam 1540XB

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: СЭМ

Основный технические характеристики

Детекторы и приставки:

• Детекторы: SE и InLense SE, детектор STEM
• Система фокусированного ионного пучка FIB
• Система осаждения из газовой фазы – GIS
• Детектор обратно рассеянных электронов (EBSD) HKL Channel 5 на базе камеры Nordlys II
• Энергодисперсионный детектор Oxford Instruments X-MAX 80, разрешение по энергии 120-130 эВ
• Масс-спектрометр вторичных ионов EQS 1000
• Микроманипулятор Kleindiek Nanotechnik

Методы исследования:

• Растровая электронная микроскопия высокого разрешения
• Просвечивающая растровая электронная микроскопия
• Ионная сканирующая микроскопия
• Низкие ускоряющие напряжения (до 100В)
• Энергодисперсионный рентгеновский микроанализ
• Кристаллографический анализ
• Масс-спектрометрия вторичных ионов
• Подготовка поперечных сечений фокусированным ионным пучком
• Анализ трехмерной структуры объектов с помощью FIB
• Трехмерный анализ структуры и состава (3D EBSD, 3D EDX, SIMS)
• Подготовка образцов для ПЭМ

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Carl Zeiss

Марка - Libra 200FE

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: ПЭМ

LIBRA 200FE Основные характеристики

Детекторы и приставки:

• Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (EDX)
• Омега-фильтр, Дисперсия: 1.85 m/эВ @ 200 кВ, энергетическое разрешение: <0.7 эВ
• HAADF/STEM

Держатели образцов:

• Держатель образцов GATAN Model 652, возможность нагрева до 1100º C
• Держатель образцов GATAN Model 636, возможность охлаждения до -170º C
• Двухосевой томографический держатель Fischione model 2040

Методы исследования:

• Высокоразрешающая электронная микроскопия (HREM)
• Просвечивающая электронная микроскопия (TEM)
• Сканирующая просвечивающая электронная микроскопия (STEM)
• ПЭМ с фильтрацией по энергиям (EFTEM)
• Электронная дифракция (ED)
• ED в сходящемся пучке (CBED)
• Аналитическая электронная микроскопия (EELS, EDS)
• Z-контраст
• Наблюдение объекта в диапазоне температур от -170С до +1100С

Области применения прибора Carl Zeiss Libra 200 FE

• Атомная структура материалов, устройств наноэлектроники
• Характеризация кристаллической решетки и химической природы нанообъектов
• Локальный анализ элементного состава
• Поэлементное картирование структуры
• Идентификация дефектов кристаллической решетки полупроводниковых материалов
• Тонкая структура биологических объектов
• Исследование динамики структуры материалов в процессе нагрева и охлаждения.
• Электронная томография
• Исследования распределения наночастиц, дефектов структуры

Поперечное сечение многослойной структуры Si/Fe.



Наночастицы золота размером 10 нм.


Томографическая реконструкция структуры аморфного сплава CoNiP, выполненная c применением вейвлет фильтрации.


Смоделированные ПЭМ изображения кластера α-Fe в аморфной матрице FeB20.

Страна изготовитель - Германия

Производитель - SUSS MicroTec

Марка - PM5

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: зондовая станция PM5

Назначение:

• Исследование вольт-амперных характеристик с высоким пространственным разрешением,
• измерение магнитосопротивления в полях до 4 кЭ.

Возможные исследования:

• Измерения с использование до 6 зондов
• Возможность проведения измерений сигналов в гигагерцовом диапазоне.
• Измерение продольного и поперечного магнитоспротивления
• Анализ пластин и подложек до 150 мм (6 дюймов),
• Измерение в широком спектре постоянного тока и высоких частот.

Область применения: Наноэлектроника.

Страна изготовитель - Россия

Производитель - НТМ-ДТ

Марка - Ntegra Spectra

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: Сканирующий микроскоп НТЕГРА Спектра.

Назначение: Исследование топологии и элементный состав поверхности.

Возможные исследования:

• Измерение параметров рельефа поверхности наноструктурированных объектов

Методы исследования:

• Методика измерения шероховатости поверхности образцов,
• Методика исследования магнитной микроструктуры образцов
• Использование методов АСМ (топография, измерения поверхностной проводимости, магнитная-силовая микроскопия и т.д.);
• Оптической микроскопия: поляризованная микроскопия, микроскопия белого света и флюоресцентная;
• Исследование процессов переноса энергии (распространение света в на нотрубках и оптоволокне).

Основные характеристики:

• Высокое разрешение оптического микроскопа (0,25 мкм);
• Оптическое разрешение до 0,07 нм (конфокальная лазерная микроскопия, конфокальная рамановская микроскопия).

Область применения: Наноэлектроника.

Страна изготовитель - Россия

Производитель - НТМ-ДТ

Марка - NtegraAura

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: Сканирующий зондовый микроскоп

Назначение:

Исследование рельефа поверхности и магнитной структуры широкого спектра материалов, в том числе и наноструктур.

Дополнительные комплектующие:

• источник магнитного поля до 2 кГаусс,
• термостолик, нагрев образца до 130 оС.

Основные характеристики: Измерения в условиях вакуума до 10-2 Торр.

Методики имерений:

На воздухе:

• СТМ
• Низкотоковая СТМ
• Туннельная Спектроскопия
• Контактная АСМ
• МЛС
• Резонансная АСМ (полуконтактная + бесконтактная)
• Метод отображения Фазы
• Метод модуляции силы
• Изображение Силы Адгезии
• Отображение сопротивления растекания
• СЕМ
• МЗК
• МСМ
• ЭСМ
• Поперечно-силовая микроскопия
• АСМ (Силовая + Токовая),
• СТМ литография,
• RM литография.

В жидкости:

• Контактная АСМ
• Микроскопия Боковых Сил
• Метод Модуляции силы
• Изображение Силы Адгезии
• Полуконтактная (scanner-driven) АСМ/ АСМ (Силовая) Литография.

ИЗМЕРЯЕМЫЙ ПАРАМЕТР*   Толщина
ЕДИНИЦА ИЗМЕРЕНИЯ*          Нм
Количество измерений: *       30
Загрузка (час.) *                       150

Область применения: Наноэлектроника.

Страна изготовитель - Великобритания

Производитель - Oxford Instrument NanoScience

Марка - NanoMOKE

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: Магнитооптический магнитометр

Назначение: Определение характеристик массива наноразмерных магнитных кластеров.

Измеряемые параметры:

• Продольный, поперечный и полярный эффект Керра;
• Вращение эллиптичности;
• Построение петель гистерезиса.

Основные характеристики:

• Частота регистрации петель регулируемая до 1000 Гц;
• Диаметр пятна лазера не более 3 мкм;
• Чувствительность 10-12 э.м.е.

Область применения: Наноэлектроника.

Страна изготовитель - США

Производитель - Quantum Design

Марка - MPMS XL-5

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: СКВИД магнетометр

Назначение: Изучение магнитных свойств наноструктур (квантовых точек, квантовых проволок, атомарных слоев), биологических объектов, геологических пород.

Возможные исследования:

• измерение магнитных, магниторезистивных и оптоэлектронных свойств в диапазоне температур от 1,7 до 800 К
• определение анизотропии магнитных свойств.

Измеряемые параметры:

• DC намагниченность,
• AC восприимчивость,
• гистерезис,
• угловая зависимость магнитного момента,
• удельное электрическое сопротивление,
• эффект Холла,
• магнитосопротивление,
• оптическая восприимчивость.

Основные характеристики:

• Сверхпроводящее квантовое интерференционное устройство,
• Напряженность биполярного магнитного поля ±5 Тесла,
• Диапазон температур 1.9 ÷400 К,
• Чувствительность измерения DC намагниченности лучше 10-8 э.м.е.,
• Чувствительность измерения AC магнитной восприимчивости лучше 10-8 э.м.е.

Область применения: Наноэлектроника.

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Omicron Nanotechnology

Марка - Omicron

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Сверхвысоковакуумная установка для получения тонких пленок.

Назначение: Получение тонких поликристаллических металлических пленок толщиной до 200 нм.

Основные характеристики:

• Базовый вакуум в системе 10-11 mТ.
• Оборудование для напылительной камеры:
• Две высокотемпературные эффузионные ячейки (ячейка оборудована независимым вольфрамовым катодом прямого накала для тигля объемом 1,5см3 и максимальной температуры 1900°C),

Система контроля толщины пленки на основе кварцевого датчика

Область применения: Наноэлектроника.

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Omicron Nanotechnology

Марка - Omicron

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: Сверхвысоковакуумная напылительная система с магнетронными источниками

Назначение:

• получение многокомпонентных наноструктур из проводящих и непроводящих материалов методом магнетронного осаждения.

Методы исследования:

• Методы атомно-силовой микроскопии поверхности твердых тел
• Методика математической обработки спектральных данных

Основные характеристики

Вакуумная система:

• Вакуумная система из основной камеры и камеры загрузки.
• Базовое давление в системе в диапазоне 10-9 Торр.

Магнетронные источники:

• 4 источника для магнетронного распыления DC&RF.
• Диаметр мишеней 2 дюйма.

Держатель для крепления подложек:

• Держатель с возможность вращения образца и косвенного прогрева до 3000 С.

Система управления напуском газа:

• Контроль газового потока (до 4-х видов газов) с величиной от 0 до 200 sccm.

Система контроля толщины пленки:

• На базе кварцевого кристалла для контроля процесса осаждения тонкой пленки.

Область применения: Наноэлектроника.

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Omicron Nanotechnology

Марка - Omicron

Год - 2007

Сокращенное наименование единицы оборудования: СВВ комплекс «Омикрон»

Назначение: получение наноструктур с помощью молекулярно-лучевых испарителей, эффузионных ячеек, а также их исследования методами атомной силовой и туннельной микроскопиями, спектроскопии характеристических потерь энергии электронами, дифракции быстрых электронов и др.

Возможные исследования:

• Получение ультратонких магнитных пленок на кремнии и исследование особенностей ростовых процессов, изучение нанокластеров металлов на кремнии

Методы исследования:

• Метод формирования объектов в тонких магнитных пленках на поверхности кремния

Основные характеристики:

• Базовый вакуум в системе 10-11 mB.

Оборудование напылительной камеры:

Электронно-лучевой испаритель (предназначен для субмонослойного и мультислойного роста тонких пленок с автоматизированным процессом управления);
Высокотемпературная эффузионная ячейка:

• независимый вольфрамовый катод прямого накала
• объем тигля - 1,5см3,
• максимальная температура - 1900°C

Низкотемпературная эффузионная ячейка:

• Та проволокой в качестве нити накала,
• Объем тигля - 10 см3
• максимальная температура - 1400°C);

Система RHEED 20 (дифракция быстрых электронов):

• источник электронов,
• источник тока 20 кВ c гашением луча,
• дистанционное управление для фокусировки и позиционирования пучка электронов.

Система контроля толщины пленки на сонове кварцевого датчика.

Оборудование аналитической камеры:

Сканирующий зондовый микроскоп XA 50/500:

• режим атомной силовой микроскопии и сканирующей туннельной микроскопии, диапазон температур - 50 - 500 К;

Полусферический электронный спектрометр EA 125 U7/1 (методы исследования: XPS, AES, UPS, ISS)

• Разрешение не менее 10 мэВ,
• Универсальная линза с возможностью выбора анализируемой области и угла восприятия,
• скорость регистрации данных > 10 Mcps,
• диапазон кинетических энергий до 2000 эВ;

Сфокусированный ионный источник ISE 100:

• ионный ток от 1мкА до 125мкА и от 8мкА до 800мкА,
• энергия ионов 0,2 – 5кэВ, область сканирования 10x10 мм2.);

Квадрупольный масс-спектрометр Microvision plus 100D:

• диапазон масс - 1-100 аем,
• разрешение - <5%.

Страна изготовитель - Великобритания

Производитель - Oxford Instruments

Марка - Рlasmalab 80 Plus

Год - 2009

Страна изготовитель - Германия

Производитель - SUSS MicroTec

Марка - MJB-4

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Оптическая литография

Назначение:

• Формирование шаблонов с разрешением не менее 300 нм

Возможные исследования:

• Возможность работы с лампами с разными длинами волн и в пяти режимах.

Основные характеристики:

• режимы контактной литографии:
• мягкий контакт;
• жесткий контакт;
• низковакуумный контакт;
• вакуумный контакт;
• контакт с зазором в диапазоне от 0 до 50 мкм;
• Предельное разрешение не хуже 0.6 мкм при вакуумном контакте.
• Система экспонирования:
• Работа при длинах волн 250, 300 и 400 нм.

Страна изготовитель - Германия

Производитель - Raith

Марка - EBL E-line

Год - 2008

Сокращенное наименование единицы оборудования: Электронный литография

Назначение:

• Формирование литографических шаблонов с разрешение не менее 10 нм

Возможности:

• Разрешающая способность электронной колонны не хуже, чем 10 нм при 20 кВ
• Минимальный размер получаемого элемента поверхности в пределах 15-20 нм

Методы нанесения элементов наноструктур и наноматериалов

• Физические методы (электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин
• Плазмохимическое, ионно- и электронно-лучевое модифицирование поверхности

Управляемые методы формирования наноструктур

• Оптическая литография субмикронного разрешения
• Электронная литография

Методы и методики диагностики и исследования наноструктур и наноматериалов

• Сканирующая электронная микроскопия
• Атомная силовая микроскопия
• Магнитная силовая микроскопия
• Оптическая магнитометрия
• Измерения шероховатости поверхности образцов
• Исследования магнитной микроструктуры образцов
• Измерения магнитной анизотропии тонких пленок и наноструктур
• Измерения коэрцитивной силы магнитных пленок и наноструктур

Область применения: наноэлектроника.