МЕХАНИКА ДЕФОРМИРУЕМОГО ТВЕРДОГО ТЕЛА
Статья поступила в редакцию 04.02.2025; доработана после рецензирования 20.02.2025; принята к публикации 18.03.2025.
Научная статья
УДК 620.3+538.975+543.442.2+548.25
DOI: https://doi.org/10.24866/2227-6858/2025-1/27-42
Фомин Д.В., Поляков А.В., Шолыгин И.О., Рябов И.А.
Фомин Дмитрий Владимирович – кандидат физико-математических наук, доцент, директор научно-образовательного центра им. К.Э. Циолковского, Амурский государственный университет (Благовещенск, Российская Федерация), e-office@yandex.ru, https://orcid.org/0000-0002-5474-5281
Поляков Алексей Вячеславович – младший научный сотрудник, Амурский государственный университет (Благовещенск, Российская Федерация), polyakov_a_1999@mail.ru, https://orcid.org/0009-0009-5104-5966
Шолыгин Илья Олегович – магистрант 2 года обучения, Амурский государственный университет (Благовещенск, Российская Федерация), ilia.sholygin235@bk.ru
Рябов Илья Александрович – лаборант, Амурский государственный университет (Благовещенск, Российская Федерация), rybovilay@gmail.com
Химические и эпитаксиальные методы формирования низкоразмерных материалов
Аннотация. В статье представлен обзор химических и эпитаксиальных методов, используемых для формирования низкоразмерных силицидов. Литературный обзор позволил установить, какие методы являются более предпочтительными при формировании силицидов с определёнными свойствами. Силициды металлов являются востребованными материалами для производства, фото- и термоэлектрических преобразователей, оптических датчиков и т.д., поэтому у исследователей они вызывают большой интерес. В ходе анализа литературных источников установлено, что для получения плёнок силицидов тугоплавких металлов эффективно лазерно-индуцированное химическое осаждение из газовой фазы (ХОГФ) и ХОГФ в плазме. Для синтеза плёнок со структурой наноразмерных нитей оптимальным методом является химическое осаждение из газовой фазы в трубчатой печи. Формирование плёнок с полупроводниковым характером проводимости эффективно проводить путём нанесения металла на кремний с последующим испарением или распылением и термообработкой, а также внедрения атомов металла из нанесённой на поверхность Si металлической плёнки ионами инертных газов. Для синтеза твёрдого раствора, включающего полупроводниковые силициды металлов, оптимальным методом является прямое сплавление элементов с последующим горячим прессованием. Для формирования легированных плёнок соединений металлов с кремнием со слаборазвитым рельефом с заданной толщиной при стабильной скорости осаждения хорошо зарекомендовавшим себя является метод молекулярно-лучевой эпитаксии. Менее затратными методами получения плёнок силицидов, по сравнению с вышеописанными, являются твердофазная и реактивная эпитаксии.
Ключевые слова: силициды, низкоразмерные материалы, химические и эпитаксиальные методы, структурные свойства
Финансирование: внутренний грант АмГУ 2024–2025 года.
Скачать статью в формате PDF
Для цитирования: Фомин Д.В., Поляков А.В., Шолыгин И.О., Рябов И.А. Химические и эпитаксиальные методы формирования низкоразмерных материалов // Вестник Инженерной школы Дальневосточного федерального университета. 2025. № 1(62). С. 27–42.
